八氟丙烷的制備方法
時(shí)間:2024/08/07點(diǎn)擊量:81次
八氟丙烷的制備方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種八氟丙烷的制備方法,步驟依次包括:(1)氟氫化鉀經(jīng)電解后得到氟氣混合氣,并依次進(jìn)行除塵、冷凝、吸附處理,純化為原料氟氣;(2)將所述原料氟氣加壓后與惰性氣體均勻混合得到混合氣;(3)將所述混合氣通入裝有二氟化鈷的反應(yīng)器內(nèi)反應(yīng)得到三氧化鈷;(4)反應(yīng)完成后,對(duì)所述反應(yīng)器及相關(guān)管路管件進(jìn)行吹掃及抽真空置換處理;(5)將六氟丙烯通入反應(yīng)器內(nèi)與所述三氟化鈷反應(yīng)得到含有雜質(zhì)的八氟丙烷;(6)對(duì)八氟丙烷進(jìn)行冷卻、吸附處理;(7)將八氟丙烷通過(guò)壓縮機(jī)進(jìn)入精餾塔進(jìn)行精餾處理。采用本發(fā)明,可降低雜質(zhì)對(duì)反應(yīng)器的腐蝕,抑制六氟丙烯裂解、自聚、加成等不良副反應(yīng),制備高純度的八氟丙烷。
【專(zhuān)利說(shuō)明】八氟丙烷的制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及化工領(lǐng)域,尤其涉及一種八氟丙烷的制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002]八氟丙烷,常用作制備半導(dǎo)體器件工藝中的蝕刻或清洗氣體?,F(xiàn)有關(guān)于使用六氟丙烯作為原料直接制備八氟丙烷的方法有多種:
日本專(zhuān)利JP-B-62-61572指出,在六氟丙烯和氟氣之間進(jìn)行直接氟化反應(yīng)制備八氟丙烷;日本專(zhuān)利JP-B-1-45455指出,在催化劑存在下,使六氟丙烯與氟反應(yīng)制備八氟丙烷;日本專(zhuān)利JP-B-62-54777指出,將六氟丙烯與高級(jí)(High-Order)金屬氟化物反應(yīng)制備八氟丙烷;日本專(zhuān)利JP-B-62-61682指出,在使用惰性氣體和反應(yīng)產(chǎn)物氣體稀釋的情況下,使六氟丙烯與氟氣反應(yīng)制備八氟丙烷;日本專(zhuān)利JP-B-62-61115指出,在氟化氫中使六氟丙烯電解氟化以制備八氟丙烷。